စိုထိုင်းဆသည် သန့်စင်ခန်းများ လည်ပတ်မှုတွင် သာမန်ပတ်ဝန်းကျင် ထိန်းချုပ်မှု အခြေအနေတစ်ခုဖြစ်သည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း သန့်စင်ခန်းရှိ နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ၏ ပစ်မှတ်တန်ဖိုးကို 30 မှ 50% အကွာအဝေးအတွင်းတွင် ထိန်းချုပ်ထားပြီး အမှားသည် photolithographic area ကဲ့သို့သော ကျဉ်းမြောင်းသော အကွာအဝေး ±1% အတွင်းတွင် ရှိနေနိုင်သည် သို့မဟုတ် ဝေးကွာသော ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည် စီမံဆောင်ရွက်ပေးခြင်း (DUV) ဧရိယာတွင် ပို၍သေးငယ်သည်။ - အခြားနေရာများတွင် သင်သည် ±5% အတွင်း အနားယူနိုင်သည်။
နှိုင်းရစိုထိုင်းဆသည် သန့်ရှင်းသောအခန်း၏ အလုံးစုံစွမ်းဆောင်ရည်ကို အထောက်အကူပြုနိုင်သည့် အကြောင်းအရင်းများစွာရှိသောကြောင့်၊ အပါအဝင်၊
●ဘက်တီးရီးယားကြီးထွားမှု;
● အခန်းအပူချိန်တွင် ဝန်ထမ်းများခံစားရသည့် သက်တောင့်သက်သာရှိမှုအတိုင်းအတာ၊
● Static charge ပေါ်လာသည်၊
●သတ္တုချေး;
● ရေငွေ့ငွေ့ရည်ဖွဲ့ခြင်း၊
● lithography ၏ပျက်စီးခြင်း;
● ရေစုပ်ယူမှု။
ဘက်တီးရီးယားနှင့် အခြားဇီဝညစ်ညမ်းပစ္စည်းများ (မှို၊ ဗိုင်းရပ်စ်များ၊ မှိုများ၊ ပိုးများ) သည် စိုထိုင်းဆ 60% အထက်ရှိသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် တက်ကြွစွာ ပွားများနိုင်သည်။ နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ 30% ကျော်လွန်သောအခါ အချို့သော သစ်ပင်ပန်းမန်များသည် ကြီးထွားနိုင်သည်။ နှိုင်းရစိုထိုင်းဆသည် 40% မှ 60% ကြားရှိသောအခါတွင် ဘက်တီးရီးယားနှင့် အသက်ရှူလမ်းကြောင်းဆိုင်ရာ ကူးစက်ရောဂါများ၏ သက်ရောက်မှုများကို လျှော့ချနိုင်သည်။
40% မှ 60% အတွင်း နှိုင်းရစိုထိုင်းဆသည် လူတို့ သက်တောင့်သက်သာ ခံစားရနိုင်သော အလယ်အလတ် အပိုင်းတစ်ခုလည်း ဖြစ်သည်။ စိုထိုင်းဆများလွန်းခြင်းသည် လူကို စိတ်ဓာတ်ကျစေနိုင်ပြီး 30% အောက် စိုထိုင်းဆသည် လူကို ခြောက်သွေ့ခြင်း၊ ပပ်ခြင်း၊ အသက်ရှုလမ်းကြောင်း မအီမသာဖြစ်ခြင်းနှင့် စိတ်ပိုင်းဆိုင်ရာ မအီမသာဖြစ်ခြင်းတို့ကို ခံစားရစေသည်။
မြင့်မားသောစိုထိုင်းဆသည် သန့်ရှင်းသောအခန်း၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် static charge စုဆောင်းမှုကို အမှန်တကယ်လျော့နည်းစေသည် - ဤသည်မှာ လိုချင်သောရလဒ်ဖြစ်သည်။ စိုထိုင်းဆနည်းခြင်းသည် အားသွင်းစုဆောင်းခြင်းနှင့် လျှပ်စစ်စတိတ်ပစ်လွှတ်ခြင်း၏ ထိခိုက်စေနိုင်သည့် အရင်းအမြစ်တစ်ခုအတွက် ပိုသင့်လျော်သည်။ နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ 50% ကျော်လွန်သောအခါ static charge သည် လျင်မြန်စွာ ပျောက်ကွယ်သွားသည်၊ သို့သော် နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ 30% ထက်နည်းသောအခါ ၎င်းတို့သည် insulator သို့မဟုတ် ungrounded မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် အချိန်ကြာမြင့်စွာ ဆက်လက်တည်ရှိနေနိုင်သည်။
နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ 35% နှင့် 40% အကြား ကျေနပ်စရာ အပေးအယူတစ်ခု ဖြစ်နိုင်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ သန့်စင်ခန်းများသည် ပုံမှန်အားဖြင့် static charge စုဆောင်းမှုကို ကန့်သတ်ရန် အပိုထိန်းချုပ်မှုများကို အသုံးပြုသည်။
နှိုင်းရစိုထိုင်းဆ တိုးလာသည်နှင့်အမျှ သံချေးတက်ခြင်းအပါအဝင် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုအများအပြား၏ အရှိန်သည် တိုးလာမည်ဖြစ်သည်။ သန့်ရှင်းသောအခန်းအနီးရှိ လေထုနှင့် ထိတွေ့သည့် မျက်နှာပြင်အားလုံးကို အနည်းဆုံး ရေ monolayer တစ်ခုဖြင့် လျင်မြန်စွာ ဖုံးအုပ်ထားသည်။ ဤမျက်နှာပြင်များသည် ရေနှင့် ဓာတ်ပြုနိုင်သော ပါးလွှာသော သတ္တုအလွှာဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသောအခါ စိုထိုင်းဆများသော တုံ့ပြန်မှုကို အရှိန်မြှင့်နိုင်သည်။ ကံကောင်းထောက်မစွာ၊ အလူမီနီယမ်ကဲ့သို့ အချို့သောသတ္တုများသည် ရေဖြင့်ကာကွယ်နိုင်သော အောက်ဆိုဒ်အဖြစ်ဖွဲ့စည်းနိုင်ပြီး နောက်ထပ်ဓာတ်တိုးတုံ့ပြန်မှုများကို တားဆီးနိုင်သည်၊ သို့သော် ကြေးနီအောက်ဆိုဒ်ကဲ့သို့ အခြားသောကိစ္စများတွင် အကာအကွယ်မရှိသောကြောင့် စိုထိုင်းဆမြင့်သောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ကြေးနီမျက်နှာပြင်များသည် ချေးတက်နိုင်ခြေပိုများသည်။
ထို့အပြင်၊ မြင့်မားသောနှိုင်းရစိုထိုင်းဆပတ်ဝန်းကျင်တွင်၊ အစိုဓာတ်ကိုစုပ်ယူမှုကြောင့် မုန့်ဖုတ်စက်ဝန်းပြီးနောက်တွင် photoresist သည် ချဲ့ထွင်ပြီး ပိုမိုဆိုးရွားစေသည်။ မြင့်မားသော နှိုင်းရစိုထိုင်းဆကြောင့် Photoresist ၏ adhesion ကိုလည်း ထိခိုက်စေနိုင်သည်။ နှိုင်းရစိုထိုင်းဆနိမ့်သော (30%) ခန့်သည် ပေါ်လီမာကို ပြုပြင်မွမ်းမံမှုမလိုအပ်ဘဲ photoresist adhesion ပိုမိုလွယ်ကူစေသည်။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာ သန့်စင်ခန်းတွင် နှိုင်းရစိုထိုင်းဆကို ထိန်းချုပ်ခြင်းသည် ထင်သလိုမဟုတ်ပါ။ သို့သော်လည်း အချိန်ကာလပြောင်းလဲလာသည်နှင့်အမျှ အများအားဖြင့် လက်ခံထားသောအလေ့အကျင့်များ၏ အကြောင်းရင်းများနှင့် အခြေခံအုတ်မြစ်များကို ပြန်လည်သုံးသပ်ရန် အကောင်းဆုံးဖြစ်သည်။
စိုထိုင်းဆသည် ကျွန်ုပ်တို့၏လူသားများ၏ သက်တောင့်သက်သာရှိမှုအတွက် အထူးသတိမထားမိနိုင်သော်လည်း၊ အထူးသဖြင့် စိုထိုင်းဆများသောနေရာတွင် မကြာခဏဆိုသလို သက်ရောက်မှုရှိပြီး စိုထိုင်းဆသည် အဆိုးရွားဆုံးထိန်းချုပ်မှုဖြစ်သည်၊ ထို့ကြောင့် သန့်ရှင်းသောအခန်း၏ အပူချိန်နှင့် စိုထိုင်းဆထိန်းချုပ်မှုတွင် စိုထိုင်းဆကို ဦးစားပေးပါသည်။
စာတိုက်အချိန်- စက်တင်ဘာ-၀၁-၂၀၂၀